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就热载流子效应、软失效、体效应及寄生电容等问题将薄膜全耗尽CMOS/SOI器件与体硅CMOS器件进行比较。并阐述薄膜全耗尽CMOS/SOI技术是低压低功耗集成电路的理想技术。 相似文献
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展望21世纪及1999年微电子技术的发展。认为21世纪初的微电子技术仍将以硅基CMOS电路为主流工艺,但将突破目前所谓的物理“限制”;集成系统将取代目前的集成电路得以迅速发展;微电子技术将与其它技术结合形成一系列新的增长点,微光机电系统(MOMES)、DNA芯片等将得到突飞猛进的发展。1999年的微电子技术将在超微细光刻技术、铜互连及低κ互连绝缘介质、高κ栅绝缘介质、SOI技术、GeSi和GaN技术等方面得到快速发展 相似文献
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技术进步和市场需求促使VLSI从集成电路技术不断向微系统技术发展。本文将从微系统的一个分支——硅微电子机械系统方面介绍和讨论有关这种发展的一些问题。 相似文献
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9月。中共中央政治局委员、国务院副总理马觊在杭州调研时强调,集成电路产业是信息技术产业的核心,加快发展集成电路产业,是推动我国经济转型升级的根本要求,是提升国家信息安全的重要保障。 相似文献
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