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金刚石因具有最高的声速、极高的弹性模量、优良的导热性和耐热性等优异性能，在声表面波（SAW）器件应用中具有广阔的前景。本文概述了近年来国内外金刚石膜高频SAW器件制备及研究进展，讨论了金刚石膜在声表面波器件应用中应满足的要求及存在的问题。 相似文献
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