MEMS流量传感器

上个世纪五六十年代,在各行各业大量需要测量出流量参数的背景下,各种流量传感器不断涌现。这几十年来,微机电系统（MEMS）也取得了非常重要的发展,传统的流量传感器也需要有更加高的精度,更加的集成化,更好的可靠度,因此MEMS流量传感器成为了重要的研究对象。本文对MEMS流量传感器的发展历程,测量原理,分类发展等内容作了必要的介绍,也对一些常用的MEMS流量传感器的特点进行了描述。在文章的最后部分,还给出了MEMS流量传感器的三个主要发展阶段,并且对各阶段的特征给出了介绍,对未来的发展给出了展望。