生产电子级多晶硅的影响因素

多晶硅在诸多领域被广泛的应用。目前改良西门子法以其节能、节省物耗、减少污染等优点被广泛应用于多晶硅生产中。多晶硅生产厂家现在大多只能生产出太阳能级多晶硅,而对电子级多晶硅的生产一直存在着技术瓶颈。文章从生产原料中的硅粉、生产工艺中的精馏工艺、尾气回收工艺、还原工艺分别对生产电子级多晶硅产品质量的影响作了详细地阐述。从工艺参数控制、原料及中间产物质量管控等方面着重加以论述。     

国内硅烷法制备电子级区熔用多晶硅的进展

对硅烷热分解法制备多晶硅的工艺作了介绍,探讨了硅烷法制备电子级多晶硅的优势。硅烷CVD法所沉积的多晶硅,在电阻率、少子寿命、杂质含量等方面符合高纯多晶硅的要求,纯度不仅可以达到国标(GB/T 12963-2009)电子一级品的标准,还可以满足区熔用超高纯多晶硅的要求。合理控制反应条件、保持反应环境的高度洁净,能够得到均匀、致密的高纯多晶硅棒,可以作为区熔法生产单晶硅棒的原料。     

吸附在氯硅烷除杂方面的应用

文章总结了吸附在氯硅烷除硼磷杂质方面的应用,主要介绍了吸附原理、三氯氢硅吸附和二氯二氢硅吸附,对比吸附和传统精馏的差别。特别是危险性较高的二氯二氢硅利用吸附除去杂质硼、磷,可将吸附得到的高纯二氯二氢硅通入还原工序还原制备高纯多晶硅,减少二氯二氢硅的贮存量,降低危险性。     

关于电子级多晶硅生产技术的研究

电子级多晶硅在电子工业生产中的应用相对广泛,和电子产品的电路级功能和二极管功能产生影响。基于此,电子级多晶硅制造企业需要保障产品的质量,为电子工业生产提供质量有保障的电子级多晶硅。文章从电子级多晶硅的生产工艺入手,对电子级多晶硅的生产技术进行分析,以期为制造企业提供理论参考。     

氯硅烷和多晶硅精馏节能减排与提高质量的技术措施

多晶硅在当前的工业领域中具有十分重要的作用。而在多晶硅的生产过程中,会产生很多三氯氢硅、二氯二氢硅、四氯化硅等氯硅烷副产品,导致生产成本升高。同时,很多氯硅烷和氯化氢将会进入尾气当中,加大了对环境的污染。本文首先对多晶硅的生产工艺进行了介绍,然后分析了多晶硅精馏节能技术的原理,最后阐述了利用高效分离技术提高产品质量和降低排放。     

多晶硅产品中碳含量影响因素分析及控制

随着科技的进步,对硅器件的品质提出更高的要求,但由于碳杂质的存在,严重制约着其稳定性和使用寿命的提高。文章对多晶硅碳含量和回收氢气中甲烷含量、三氯氢硅中甲基二氯硅烷等相关性进行分析,结果表明:多晶硅碳含量主要受氢气中甲烷含量影响,而三氯氢硅中甲基二氯硅烷对多晶硅碳含量影响不大,实际生产中应将回收氢中甲烷含量控制在5ppmv以下。     

氯硅烷水解工艺研究进展

综述了氯硅烷水解工艺的研究进展,包括碱性介质水解、过量水水解、恒沸酸水解工艺和浓酸水解工艺,探讨了各种水解工艺优缺点,展望了氯硅烷水解工艺的发展方向和在多晶硅和有机硅渣浆或残液处理上的应用前景。     

多晶硅工厂常用活塞压缩机运行故障分析

多晶硅工厂使用的压缩机主要为活塞机、螺杆机、膜压机和离心机四大类,其中使用最频繁的为活塞压缩机。活塞压缩机压缩对象主要为多晶硅生产过程中的氯硅烷气体、氢气等。文章通过对某个大型多晶硅工厂使用的活塞压缩机运行故障进行分析研究,汇总压缩机故障原因、表现形式,为项目活塞压缩机的日常维护提供相关检修建议,减少项目运行成本。     

硅烷热分解方法中温度对硅棒质量的影响

针对采用CVD反应器的硅烷热分解工艺制备棒状高纯多晶硅的过程进行了研究。理论上研究了硅烷受热分解的过程,以及温度梯度对硅沉积的影响。从应用角度出发,研究了制备过程中棒状多晶硅致密性、能耗、硅烷转化率等方面的影响因素。通过降低杂质和改善硅棒外观,使生产的多晶硅棒达到了区熔级的标准,并成功区熔成晶。提出了在制备工艺中尚待优化的问题,指出采用侧面间接进气方式有利于沉积的均匀性和致密性。     

多晶硅废水处理工艺优化

文章针对多晶硅生产过程中,废水产量大且处理困难的问题,限制了我国电子零部件制造行业和太阳能产业发展的问题,以国内某大型多晶硅生产企业为研究对象,搭建了多晶硅废水处理系统,对多晶硅废水处理工艺进行了优化。文章首先对多晶硅生产过程中排放的废水进行了分类,然后针对每一类废水介绍其处理工艺,最后分析了处理工艺的效果。经过一年的试运行,系统在企业运行稳定,起到了降本增效的目的,此优化后的工艺值得其他多晶硅生产企业借鉴和参考。     

多晶硅生产中废气处理工艺改造

多晶硅作为一种电子产业、太阳能应用产业中的常用材料,随着近年来的科技水平与产业发展实际,导致中国的多晶硅的需求量也逐渐增加。对此文章将结合多晶硅生产工艺流程,探究废气处理期间存在的问题与工艺改造的方法,期待能为产业发展提供参考。     

晶状饲料级磷酸氢钙生产技术

1.产品用途　饲料级磷酸氢钙主要用作畜禽等动物理想的补磷、补钙的矿物质添加剂。2 .技术特点　晶状饲料级磷酸氢钙为目前科研企事业单位竞相开发的市场热销产品 ,由于其生产成本居高不下而制约了其发展。河北科技大学在低成本一步沉淀脱氟的基础上 ,又开发成功了低成本生产饲料级晶状磷酸氢钙的先进技术 ,该技术已完成了在 1 0 kt/a工业装置上成功运行。其技术特点是 :1 )晶状磷酸氢钙产品纯度高 ,流动性好 ,杂质含量特别是氟、重金属的含量低于普通粉状产品。2 )晶状磷酸氢钙在生产中易脱水 ,易干燥 ;在使用过程中不易飞扬起尘 ,损失小 ,…     

西门子法多晶硅生产中的质量控制难点及措施

西门子法冷氢化工艺日趋完善和成熟,各规模企业在实际生产中对生产高质量的多晶硅也有了较多的经验和总结,这对我国未来多晶硅行业的发展奠定了坚实基础。本文主要针对多晶硅生产中的质量控制提出新的思路,通过生产过程的质量控制,实现稳定高质量的多晶硅生产。     

江苏顺大生产国内最纯“9个9“的多晶硅

经过几个月的紧张调试，位于扬州市经济开发区内的江苏顺大电子材料公司已试生产出纯度已达或超过“9个9“的电子级多晶硅，品质为国内之最。     

电子级多晶硅用换热器的清洗及清洗时的安全注意事项

多晶硅用换热器的清洗是一项重要的工作,对其进行定期清洗很有必要,不仅能降低生产用的耗费,还可以提高工作效率,把积留已久的污渍清理干净,因此,相关人员一定要引起重视。同时,对于多晶硅系统中还原功能能量的利用也进行了进一步的探讨和分析,对于能量的综合利用系统也进行了计算和设计的研究,以为更多的多晶硅换热器的清洗提供参考意见。文章就电子级多晶硅的特点,对换热器的清洗及清洗时应注意的安全事项进行分析。     

浅谈多晶硅生产副产物四氯化硅的综合利用

近年来，在太阳能光伏电池行业发展的推动下，我国多晶硅生产行业也得到了大力发展。其中，当前我国多晶硅行业主要采用西门子法，这使得工艺生产中难免会产生腐蚀性较强、污染性较大的四氯化硅。因此，本文主要通过简要介绍四氯化硅，然后系统分析和探讨多晶硅生产副产品四氯化硅的综合利用方法。     

树脂除碳技术在超纯三氯氢硅提纯工艺中的应用

三氯氢硅的合成过程中会引入碳杂质,在多晶硅和作为硅源的硅外延片生产中很容易发生沉积,形成晶格点缺陷,从而影响半导体材料的性能。高纯三氯氢硅中碳杂质主要以甲基二氯硅烷形式存在,而甲基二氯硅烷沸点与三氯氢硅接近,依靠单纯的精馏法很难去除。文章重点介绍普通精馏法、吸附法、反应精馏法等几种三氯氢硅除碳方法,经过对比分析,精馏与树脂吸附相结合是目前比较有效的三氯氢硅除碳工艺。     

精馏节能减排和高效分离在多晶硅生产中的应用

社会不断发展,科技也在快速进步,在日常生产生活中多晶硅渐渐融入我们的生活。作为一种在各个领域内广泛使用的工业原材料,多晶硅举足轻重。文章在介绍多晶硅制备工艺和加工方法,以及精馏节能技术对于优化多晶硅质量和应用于生产多晶硅的情况。     

高纯电子气体中金属杂质分析方法概述

本文概述了高纯电子气体中金属杂质的来源及测定特种气体中金属粒子的前处理方法和检测手段。选定检测手段从最初的单一仪器检测逐渐过渡到仪器间的联合检测。     

对多晶硅生产中精馏工艺优化研究

文章针对传统多晶硅生产精馏工艺分类进行剖析,通过研究多晶硅精馏工艺中合成工艺、还原工艺、氢化工艺和循环工艺的优化策略,目的在于提高多晶硅生产质量,推动行业经济的稳定发展。